微機電系統(tǒng)與微細加工技術

定　價：￥30.00

作　者：	朱荻、云乃彰、汪煒、曲寧松
出版社：	哈爾濱工程大學出版社
叢編項：	國防科工委十五規(guī)劃教材
標　簽：	微電機

購買這本書可以去

ISBN：	9787811332384	出版時間：	2008-01-01	包裝：	平裝
開本：	16開	頁數(shù)：	227	字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　《國防科工委“十五”規(guī)劃教材：微機電系統(tǒng)與微細加工技術》共分五章，包括微機電系統(tǒng)和微細加工技術的發(fā)展趨勢，對微機電系統(tǒng)原理和設計、微細加工技術、相關的檢測技術以及微機電系統(tǒng)的應用等內(nèi)容進行了介紹和討論?！段C電系統(tǒng)與微細加工技術》可作為機械工程類或其他工程類本科生、研究生課程的教材，也可以作為其他有關技術人員了解微機電系統(tǒng)與微制造技術的參考書籍。

作者簡介

暫缺《微機電系統(tǒng)與微細加工技術》作者簡介

圖書目錄

1 緒論
1.1 微機電系統(tǒng)與微型化
1.2 微型化韻基礎——微細制造
2 微機電系統(tǒng)組成原理及設計
2.1 微機電系統(tǒng)的組成和工作原理
2.2 微尺度理論基礎
2.3 計算機輔助設計
習題
3 微細加工技術
3.1 硅微細加工
3.2 UGA技術
3.3 微細電火花加工
3.4 微細電鑄
3.5 微細電解加工
3.6 微細高能柬流加工
習題
4 微機電系統(tǒng)的檢測
4.1 MEMS器件的幾何量測量
4.2 力學性能測試
習題
5 微機電系統(tǒng)的應用
5.1 微機電系統(tǒng)的軍事應用
5.2 微機電系統(tǒng)在民用工業(yè)中的應用
習題
參考文獻