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內(nèi)容簡介

　　當(dāng)今時(shí)代，永磁直線電機(jī)在高速度、高精度、高載荷的運(yùn)動(dòng)控制中應(yīng)用廣泛，同時(shí)也帶來了更多的模型不確定性和更強(qiáng)的外部擾動(dòng)問題。因此，兼顧高動(dòng)態(tài)和高精度的運(yùn)動(dòng)控制指標(biāo)，降低上述問題帶來的影響是至關(guān)重要的?！队需F芯直線電機(jī)推力波動(dòng)的分析與補(bǔ)償方法》以尖端精密設(shè)備——光刻機(jī)中的雙工件臺(tái)系統(tǒng)為研究背景，針對(duì)有鐵芯直線電機(jī)存在的推力波動(dòng)問題，進(jìn)行了深入的理論分析和擾動(dòng)補(bǔ)償方案研究?！队需F芯直線電機(jī)推力波動(dòng)的分析與補(bǔ)償方法》可作為從事精密機(jī)電系統(tǒng)研發(fā)的科研人員和工程師的參考書。

作者簡介

暫缺《有鐵芯直線電機(jī)推力波動(dòng)的分析與補(bǔ)償方法》作者簡介

圖書目錄

第1章緒論
1．1 研究背景、目的及意義
1．2 推力波動(dòng)抑制的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀及分析
1．3 主要研究內(nèi)容
第2章推力波動(dòng)分析及反饋控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)
2．1 直線電機(jī)推力波動(dòng)分析
2．2 直線電機(jī)建模及反饋控制器設(shè)計(jì)
2．3 本章小結(jié)
第3章推力波動(dòng)數(shù)據(jù)采集及辨識(shí)
3．1 推力波動(dòng)數(shù)據(jù)采集方案設(shè)計(jì)及試驗(yàn)結(jié)果
3．2 推力波動(dòng)辨識(shí)方法研究
3．3 查表補(bǔ)償方法研究
3．4 本章小結(jié)
第4章基于迭代學(xué)習(xí)前饋的推力波動(dòng)補(bǔ)償方法研究
4．1 迭代學(xué)習(xí)前饋補(bǔ)償方法理論分析
4．2 基于迭代學(xué)習(xí)前饋的推力波動(dòng)補(bǔ)償方法仿真研究
4．3 基于逆模型迭代學(xué)習(xí)前饋的推力波動(dòng)補(bǔ)償方法實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證
4．4 本章小結(jié)
第5章基于擾動(dòng)觀測器的推力波動(dòng)補(bǔ)償方法研究
5．1 基于傳統(tǒng)擾動(dòng)觀測器的推力波動(dòng)補(bǔ)償方法研究
5．2 改進(jìn)擾動(dòng)觀測器設(shè)計(jì)
5．3 基于改進(jìn)擾動(dòng)觀測器的推力波動(dòng)補(bǔ)償方法實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證
5．4 基于改進(jìn)擾動(dòng)觀測器+迭代學(xué)習(xí)的推力波動(dòng)補(bǔ)償方法研究
5．5 本章小結(jié)
結(jié)論
參考文獻(xiàn)