精芯打造：集成電路的制造設(shè)備

第一章 “精密”之旅——走近集成電路制造設(shè)備
“摩爾定律”的魔法術(shù)
空氣潔凈度
精密的尺度
“納米城市”的質(zhì)量標準
第二章 “精”彩紛呈——揭開集成電路制造設(shè)備的神秘面紗
走進潔凈室
潔凈室的特別之處
集成電路制造設(shè)備的“十八般武藝”
第三章 精準的“注射”高手——離子注入機
芯片為什么需要“雜質(zhì)”
“注射”是一門大學(xué)問
“蓄勢待發(fā)”的離子源
“萬箭齊發(fā)”的束線
“工藝腔”里的故事
第四章 精湛的“攝影”大師——光刻機
走近光刻機
如何評判光刻機的“武功”
光刻機的“光”是怎么來的
光刻機“照相”的過程
光刻機內(nèi)部的“跑步冠軍”
光刻機里的“大哥大”——極紫外光刻機
第五章 精密的“雕刻”行家——刻蝕機
“雕刻”行家也用“刀”嗎
神秘的“雕刻魔法”之濕法刻蝕
神秘的“雕刻魔法”之干法刻蝕
“雕刻”行家特殊的工作環(huán)境
如何評估“雕刻”的水平
第六章 精確的“制衣”能手——薄膜沉積設(shè)備
芯片喜歡穿什么樣的“衣服”
“制衣”能手的絕活兒
物理“制衣”法——物理氣相沉積設(shè)備
化學(xué)“制衣”法——化學(xué)氣相沉積設(shè)備
原子“制衣”法——原子層沉積設(shè)備
第七章 日益“精”進——集成電路制造設(shè)備的競爭格局
“英雄輩出”——集成電路制造設(shè)備主要廠商
“群雄逐鹿”——集成電路制造設(shè)備的市場格局
“奮起直追”——中國集成電路制造設(shè)備的發(fā)展之路
參考文獻
后記