聚焦離子束：應用與實踐

　　聚焦離子束（FocusedIonBeam，F(xiàn)IB）是微納加工、芯片失效分析、微結構科學研究的核心技術裝備之一。隨著材料、器件的微尺度化（納米甚至原子尺度）、高集成化（每平方厘米集成10億個以上的功能單元）、多功能化（在多種外場條件下工作），越來越多的材料微結構研究、器件研發(fā)須使用聚焦離子束。全書共分七章，從聚焦離子束的結構原理出發(fā)，緊密結合應用與實踐，對聚焦離子束誘導沉積、濺射刻蝕、離子注入、離子束曝光、聯(lián)合使用模式以及樣品的前期處理進行闡述，并配有實際案例進行進一步詳解。

　　鄧昱，南京大學現(xiàn)代工程與應用科學學院博士生導師，亞原子電子顯微鏡中心主任，中國分析測試協(xié)會青年委員會副主任委員，美國勞倫斯伯克利國家實驗室、國家電子顯微鏡中心訪問教授。